16:00 〜 16:15 [17p-301-8] Ba 増膜酸化 SiO2/SiC における表面粗さの Ba 膜厚及び酸化温度依存性 〇藤田 栄悟1、田中 誠人1、チャンタパン アタウット1、細井 卓治1、志村 考功1、渡部 平司1 (1.阪大院工)