09:30 〜 09:45 [15a-304-3] FIB/EB複合リソグラフィーによるNEB-22レジストからのカーボンナノメカニカル構造の作製 〇湯浅 勇貴1、前田 悦男1、米谷 玲皇1 (1.東京大工)