PDF ダウンロード スケジュール 9 いいね! 0 コメント (0) 11:15 〜 11:30 [14a-F201-8] 長時間引き上げ停止したCZ Si結晶(Ⅴ)ー点欠陥と酸素析出― 〇阿部 孝夫1、高橋 徹1 (1.信越半導体) キーワード:CZシリコン、点欠陥