[14p-F201-1~14] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[14p-F201-3] 平行デュアルレーザビーム法による自由キャリアのバルク寿命評価: 酸化膜形成による表面パッシベーション効果の評価

〇金田 寛¹、米澤 英晃²、大村 一郎¹ (1.九工大院工、2.九工大工)

キーワード：シリコン、キャリアライフタイム、表面再結合

過去3回の応物学会で紹介してきた我々の新原理によるシリコンウェーハのバルクキャリア寿命評価法において、ウェーハ上の熱酸化膜による表面再結合センターの不働態化によって、キャリア寿命がどの程度に増大するかを評価した。