[14p-F201-1~14] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[14p-F201-4] CZシリコンにおけるキャリア濃度とバルクライフタイムの関係

〇宮村 佳児¹、原田 博文¹、中野 智¹、柿本 浩一¹ (1.九大応力研)

キーワード：ライフタイム