[14p-F201-1~14] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[14p-F201-5] 電子線照射発光活性化後のフォトルミネッセンス評価によるシリコン中炭素濃度の定量手法開発

〇中川 聰子¹、永井 勇太¹ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：フォトルミネッセンス、シリコン、炭素