[15a-304-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15a-304-5] 電磁駆動・誘導検出型シリコンMEMS捩り共振子

〇渡部 善幸¹、加藤 睦人¹、矢作 徹¹、村上 穣¹、阿部 泰¹ (1.山形工技セ)

キーワード：MEMS、捩り共振子、電磁駆動・誘導検出

MEMS技術によりシリコン捩り共振子を作製した。デバイスは、シリコンチップと永久磁石の2層構造で、感応膜を想定した円板がトーションビームで周辺に固定されている。円板上コイルへのAC通電で電磁力により捩り振動を発生させ、別のコイルに誘起した誘導起電力で振動状態を検出した。電送特性S21を評価したところ、共振周波数は約87kHzで、駆動電圧の低下に伴い高周波側にシフトするピーク可変特性を得た。