17:30 〜 17:45 [19p-146-16] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法で作製したInGaN/GaN多重量子井戸ナノピラーにおける発光特性のサイズ依存性 〇生江 祐介1、伊藤 大智1、川﨑 祐生1、大江 優輝1、松岡 明裕1、森谷 祐太1、菊池 昭彦1,2 (1.上智大・理工、2.上智大ナノテクセンター)