14:00 〜 14:15 [19p-131-3] Cz Si引上げ炉内の黒鉛部材から発生するCOガスとSiの反応 〇坪田 寛之1、永井 勇太1、安部 吉亮1、松村 尚1 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)