13:30 〜 13:45 [19p-224A-2] 溶液法により形成したAl添加ZnO-TFTの特性評価と基板依存性 〇大浦 紀頼1、小山 政俊1、前元 利彦1、佐々 誠彦1 (1.大阪工大 ナノ材研)