局所高電子密度化によるガラスの超高速微細精密レーザ加工

14:30 〜 14:45

△ [18p-136-4] 局所高電子密度化によるガラスの超高速微細精密レーザ加工

〇伊藤佑介¹、吉﨑れいな¹、宮本直之¹、長藤圭介¹、杉田直彦¹ (1.東大工)

キーワード：フェムト秒レーザ加工、ガラス、電子密度

ガラスのフェムト秒レーザ加工では精密加工と高能率加工の両立が課題となっている．本研究ではフェムト秒レーザがガラス内部に誘起する高電子密度領域に透過波長の長パルスレーザを吸収させることによる，超高速微細加工法を提案する．実験の結果，従来の5000倍の加工速度で微細精密加工を実現した．