[18p-231C-1~19] 3.1 光学基礎・光学新領域

△ [18p-231C-2] レーザー干渉加工による電子線ホログラフィック回折格子２

〇上杉 祐貴¹、福島 涼太¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研)

キーワード：レーザー干渉加工、ホログラフィック回折格子、電子渦

近年，電子光学の分野ではホログラフィック回折格子を使ったVortex電子ビームなどの発生と利用が注目されている．しかし，集束イオンビームによる従来の加工法では，回折格子を作製するのに手間がかかる問題があった．本研究では，フェムト秒レーザーを使ったホログラフィック干渉加工により，シングルショットで大面積のホログラムを作製できることを示す．作製したホログラムの特性評価と合わせて本講演で紹介する．