[18p-PB2-1~7] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [18p-PB2-2] 分割電極型容量検出（SCD）方式を用いたAu錘3軸全差動MEMS加速度センサの検討

〇乙部 翔太¹、山根 大輔¹、小西 敏文²、佐布 晃昭²、飯田 慎一²、伊藤 浩之¹、石原 昇¹、町田 克之¹、益 一哉¹ (1.東京工業大学、2.NTT AT)

キーワード：MEMS加速度センサ、全差動、SCD

我々は近年，積層メタル技術を用いた高分解能なAu錘MEMS加速度センサを開発している。これまで，3軸センサの電極構造簡略化に向けて分割電極型容量検出：SCD（segmented capacitance detection）を提案し，基本検討としてXY方向について検討を行ってきた。今回，SCD方式を用いたAu錘3軸MEMS加速度センサについて全差動型デバイス構造を提案・試作・評価したので報告する。