乙部翔太

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発表者・著者、共著者

2018年9月18日(火) 13:30 〜 15:30 PB (白鳥ホール)

一般セッション(ポスター講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[18p-PB2-1~7] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

13:30 〜 15:30

△ [18p-PB2-2] 分割電極型容量検出（SCD）方式を用いたAu錘3軸全差動MEMS加速度センサの検討

〇乙部翔太¹、山根大輔¹、小西敏文²、佐布晃昭²、飯田慎一²、伊藤浩之¹、石原昇¹、町田克之¹、益一哉¹ (1.東京工業大学、2.NTT AT)