[20a-224A-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[20a-224A-3] 時間分解解析を用いたレーザー照射によるレジスト剥離現象の解明

〇(B)西岡 直樹^1,2、梅田 悠史¹、船本 祐介¹、島 大地¹、倉前 宏行¹、神村 共住¹、堀邊 英夫³、吉村 政志²、中村 亮介² (1.大阪工業大学、2.大阪大学、3.大阪市立大学)

キーワード：光学、レーザー損傷