[20a-PA4-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[20a-PA4-8] Fine Scale Structural Property of Mg₂Si/Si Nanosheet Bundle Composites

黄 亚磊¹、玉置 亮²、袁 佩玲¹、熊澤 佑貴³、アーサン ナズムル²、岡田 至崇²、早川 泰弘⁴、〇立岡 浩一³ (1.静岡大創造科技院、2.東京大先端研、3.静岡大総合科技研工、4.静岡大学電子研)

キーワード：半導体シリサイド、ナノシート