[20a-PB4-1~8] 3.13 半導体光デバイス

[20a-PB4-1] 分布帰還型(DFB)中赤外量子カスケードレーザの高温動作(200℃)

〇吉永 弘幸¹、加藤 隆志¹、森 大樹¹、辻 幸洋¹、村田 誠¹、右田 真樹¹、橋本 順一¹、江川 満¹、猪口 康博¹、勝山 造¹ (1.住友電工)

キーワード：半導体、量子カスケードレーザ、中赤外

量子カスケードレーザ(QCL)は、小型、高速、低コストの中赤外センシング光源として期待されている。一方、複数成分の一括検知のため、センシングには波長掃引幅の大きい光源が求められる。そこで今回、QCL高温動作化による波長掃引幅拡大を目的に、温特改善に有効な歪補償コアを導入した7.4 mm帯DFB-QCLを試作した。その結果、200℃までのパルス発振に成功し、-40℃から200℃の範囲で123 nmまでの波長掃引幅拡大を実現した。