PDF ダウンロード スケジュール 24 いいね! 1 コメント (0) 11:00 〜 11:15 [21a-222-8] 新規原料(GaCp*)による酸化ガリウム薄膜の原子層堆積 〇水谷 文一1、東 慎太郎1、井上 万里2、生田目 俊秀2 (1.高純度化学研究所、2.NIMS) キーワード:原子層堆積、酸化ガリウム 高純度酸化ガリウム薄膜形成用のALD原料として、ペンタメチルシクロペンタジエニルガリウムを合成し、ALD成膜ができることを確認した。