[21a-PA2-1~28] 12.1 作製・構造制御

[21a-PA2-21] 電着法によって形成された高分子絶縁薄膜の膜厚均一性

〇中山 健吾¹、金岡 祐介¹、宇野 真由美¹、櫻井 芳昭¹、述金 幸弘² (1.大阪技術研、2.ハニー化成)

キーワード：電着法、絶縁膜