[21p-135-1~16] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[21p-135-16] バッチ式シリコンウエハ湿式洗浄装置における水流の設計

〇松尾 美弥¹、宮崎 賢都¹、奥山 将吾¹、羽深 等¹、後藤 昭広² (1.横国大院工、2.プレテック)

キーワード：湿式洗浄、水流、設計

半導体基板材料である大口径シリコンウエハの洗浄工程において、洗浄槽内で生じる流れの循環を抑制するために、洗浄槽壁面の上端部に排出孔を設ける方法を提案した。洗浄槽内の水流を数値計算により把握し、検証したので詳細を報告する。