[21p-146-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

[21p-146-11] 高温アニール処理DCスパッタAlNを用いたAlNテンプレートの評価

〇最上 耀介^1,2、茂手木 省吾^1,2、大澤 篤史³、尾崎 一人³、谷岡 千丈³、前岡 淳史³、定 昌史¹、前田 哲利¹、矢口 裕之²、平山 秀樹¹ (1.理研、2.埼玉大学、3.SCREENファインテックソリューションズ)

キーワード：紫外LED、スパッタ、AlNテンプレート

殺菌、浄水などへの応用が期待される深紫外LEDをよりローコストで生産できる可能性があるとして、スパッタ堆積AlNを高温アニール処理してテンプレートとして用いる方法が注目されている。アニール処理後の表面には大きなヒロックが形成するが、処理温度をコントロールすることによりそれらを低減することに成功した。