[21p-233-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[21p-233-5] ミニマルファブで作製したpMOSカレントミラー回路の評価

〇影山 智明^1,2、クンプアン ソマワン^2,3、原 史朗^2,3、李 相錫¹ (1.鳥取大工、2.産総研、3.ミニマル)

キーワード：ミニマルファブ

ミニマルファブは非常に小型なミニマル装置で製造を行うため，アナログ回路を構成する場合，隣接する素子の特性にどの程度差が生ずるか見極める必要がある．本報告では、ミニマルファブで差動増幅器などの電流源として多用されるカレントミラー回路を作製し，アナログ回路としての品質および品質に影響を与えうる要素について実験を元に評価する．