15:15 〜 15:30 [18p-B301-9] 有機アンモニウム塩の電解による半導体洗浄用アルカリ液の開発 〇平川 雅章1、平林 英明2、長嶋 裕次3 (1.東芝、2.東芝マテリアル、3.芝浦メカトロニクス)