09:15 〜 09:30 [20a-D103-2] シリコンキャップアニールを用いたn型4H-SiCのオーミックコンタクト特性に対する昇温レートの影響 〇東堂 大地1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大院 先端研)