[17p-P2-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

[17p-P2-4] MOD法により作製したTi-doped V₂O₅薄膜の減圧焼成

〇(M1)ヴァンニュ ハイ¹、前田 幸平¹、河原 正美²、佐村 剛²、立木 隆¹、内田 貴司¹ (1.防衛大学校、2.高純度化学研究所)

キーワード：半導体、バナジウム、チタン