[19p-P5-1~39] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-P5-7] 高周波基板バイアススパッタ法により転移温度を低下させたZnO/glass上VO₂薄膜の光学特性

〇星野 寛明¹、福住 達郎¹、佐藤 賢太¹、沖村 邦雄¹、山口 巖²、土屋 哲男² (1.東海大院工、2.産総研)

キーワード：二酸化バナジウム、酸化亜鉛、スパッタ法

二酸化バナジウムは68℃付近で赤外光領域光透過率が変化する材料であり, スマートウィンドウなどへの応用が期待されている. しかし、転移温度が高いことが, 実用化への一つの障壁となっている. 我々は基板バイアススパッタ法により, ZnO/glass上VO2薄膜において転移温度の低温化に成功している. 本講演はその光学特性などについて発表を行う.