13:30 〜 15:30 [19p-P5-7] 高周波基板バイアススパッタ法により転移温度を低下させたZnO/glass上VO2薄膜の光学特性 〇星野 寛明1、福住 達郎1、佐藤 賢太1、沖村 邦雄1、山口 巖2、土屋 哲男2 (1.東海大院工、2.産総研)