[20a-C204-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [20a-C204-8] 二つの電源で発生させたプラズマを用いたDLC膜の除膜

〇近藤 勇樹¹、谷本 壮¹、針谷 達¹、依田 文徳¹、出貝 敏¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、権田 英修²、羽田野 泰弘³、神谷 雅男⁴ (1.豊橋技科大、2.オーエスジーコーティングサービス、3.小島プレス、4.伊藤光学)

キーワード：エッチング、アッシング、DLC

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は工具や金型の保護膜として応用されている。コストや環境への配慮から，使用済みあるいはコーティングに失敗した工具や金型のDLC保護膜を除去し母材を再利用したいという要求がある。しかし，従来の手法ではDLCの除膜が困難であったり，時間がかかるなどの問題がある。そこで，本研究では二つの電源を用いて発生した酸素プラズマを用い，DLC膜の除膜を試みた。