[20p-B301-1~13] 7.1 X線技術

[20p-B301-4] ピクセルサイズ1.4×1.4μm²の背面照射型軟Ⅹ線撮像素子の量子効率

〇江島 丈雄¹、羽多野 忠¹ (1.東北大多元研)

キーワード：軟X線用撮像素子、量子効率

市販のピクセルサイズ1.4×1.4μm²の背面照射型CMOS撮像素子の表面側のカラーフィルターを除去し、軟X線領域に感度を持たせた2次元撮像素子を作製した。作製した素子の軟X線領域の量子効率を求めたので報告する。