10:30 〜 10:45 [21a-E311-7] 三フッ化塩素ガスによる4H-SiCウエハエッチング速度分布におけるガス流量の効果 〇入倉 健太1、奥山 将吾1、羽深 等1、高橋 至直2、加藤 智久3 (1.横国大院工、2.関東電化工業、3.産総研)