09:30 〜 11:30 [20a-PA5-2] 反応性スパッタリング法および反応性蒸着法による微絨毛構造化InAlN膜の作製 〇中山 佳之1、星 大輔1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大、2.関東学院大)