11:45 〜 12:00 [20a-E203-11] 反応性ガスクラスターインジェクションによる高アスペクト比エッチングに向けた研究 〇瀬木 利夫1、荘所 正2、小池 国彦2、青木 学聡3、松尾 二郎1 (1.京大院工、2.岩谷産業、3.京大メディアセンター)