09:30 〜 11:30 [21a-PB1-59] MoS2スパッタ膜の結晶性評価 〇蓮池 紀幸1、山内 翔1、西尾 弘司1、鴨井 督2、木曽田 賢治3 (1.京都工繊大、2.京都府中技センター、3.和大)