10:45 〜 11:00 [20a-E301-7] GaN/HfSiOx/PtキャパシタでGaN/HfSiOx界面が電気特性に及ぼす影響 〇前田 瑛里香1,2、生田目 俊秀2、廣瀨 雅史1,2、井上 万里2、大井 暁彦2、池田 直樹2、塩崎 宏司3、清野 肇1 (1.芝浦工大、2.物材機構、3.名大)