17:30 〜 17:45 △ [19p-E206-15] SiNx層上へのGeの選択化学気相堆積 〇(M1)上野 湧希1、小山田 亮太1、佐々木 駿2、中井 哲弥2、石川 靖彦1 (1.豊橋技科大、2.SUMCO)