10:45 〜 11:00 [18a-C212-7] 熱負荷工程におけるSi基板中の転位挙動に関する数値計算 〇佐藤 亮平1、高倉 俊彦2、伊藤 一夫2、更屋 拓哉2、平本 俊郎2、柿本 浩一1,3、西澤 伸一1,3 (1.九大院工、2.東大生研、3.九大応力研)