15:15 〜 15:30 [18p-B11-8] モノリシック3次元CMOS集積に向けたGe-On-Insulator技術 〇前田 辰郎1、石井 裕之1、張 文馨1、入沢 寿史1、倉島 優一1、高木 秀樹1、内田 紀行1 (1.産総研)