11:30 〜 11:45 [21a-E301-10] 薄膜バリア層AlGaN/AlN/GaN HEMT構造におけるコンタクト抵抗のTi/Alオーミックメタル膜厚依存性 〇山下 良美1、渡邊 一世1、笠松 章史1 (1.情報通信研究機構)