[18a-E205-1~9] 3.2 材料・機器光学

[18a-E205-4] 波長～サブ波長構造付き曲面素子製作のための平面素子曲面化技術Ⅲ
- 不等間隔平面回折格子の曲面化 -

〇八重樫 健太¹、江畠 佳定¹、松井 繁¹、内田 功²、青野 宇紀² (1.日立ハイテク、2.日立研開)

キーワード：回折格子、凹面回折格子

本発表では、フォトリソグラフィー技術を用いた不等間隔平面回折格子マスタの製作, 及びこの回折格子を曲面化した凹面回折格子の光学特性の評価結果について報告する。