09:45 〜 10:00 [18a-E205-4] 波長~サブ波長構造付き曲面素子製作のための平面素子曲面化技術Ⅲ- 不等間隔平面回折格子の曲面化 - 〇八重樫 健太1、江畠 佳定1、松井 繁1、内田 功2、青野 宇紀2 (1.日立ハイテク、2.日立研開)