[18a-E304-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[18a-E304-7] パネル上a-Si 薄膜の結晶化における課題

〇野口 隆¹、岡田 竜弥¹ (1.琉大工)

キーワード：アモルファスシリコン、薄膜、結晶化