[18p-PB5-1~36] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18p-PB5-7] 金薄膜を堆積したGaN上へのミストCVD法によるZnO系結晶の成長

〇山本 幹大¹、大橋 紘誠¹、藤原 健八¹、原 和彦¹、光野 徹也¹ (1.静岡大工)

キーワード：酸化亜鉛、ミストCVD