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[19a-E312-4] プラズマCVDで合成されるa-C:H膜の構造に及ぼす高密度プラズマ化の影響(Ⅱ)
キーワード：DLC膜、a-C:H膜
DCプラズマにマイクロ波を吸収させた高密度プラズマにより超高速DLC成膜が可能となった．前報では，超高速DLC成膜による膜構造への影響を調べ，膜中の水素含有率が減少することを報告した．この結果を踏まえ，高いマイクロ波パワーでプラズマ密度を更に増加させることにより膜中の水素含有率が減少するとの仮説をたて，検証実験を行った．しかし予想に反してマイクロ波パワーの増加に伴い膜中の水素含有率が増加した．