[19p-B31-1~8] 薄膜表面・界面評価法の新展開

[19p-B31-7] HR-RBS分析の現状と活用事例

〇小北 哲也¹ (1.コベルコ科研)

キーワード：イオンビーム分析、RBS、表面分析

我々が HR-RBS 分析サービスを開始してからおよそ20 年が経過し、その間、半導体分野を中心
に国の内外、産学を問わず多くの方に利用されてきた。また現在もユーザー数は広がりつつある。
本講演ではそれらの経験の中から、HR-RBS 分析の現状と活用事例について報告する。