[20p-B11-1~12] 8.1 プラズマ生成・診断

[20p-B11-4] ２つのカーリングプローブを使った電子密度と薄膜の同時計測の材料プロセスへの実現性

〇小川 大輔¹、中村 圭二¹、菅井 秀郎¹ (1.中部大学)

キーワード：プラズマ計測、膜厚計測、In-situ measurement