[20p-B11-1~12] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [20p-B11-6] アルゴン・酸素混合ガスを用いた高周波ホロー陰極放電プラズマの生成と分光特性

〇本田 進之介¹、大津 康徳¹、井野 雄太¹、福永 悠人¹ (1.佐大院工)

キーワード：アッシング