[20p-E304-1~13] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

△ [20p-E304-8] MnTeスパッタリング薄膜の加熱による相変化

〇(D)森 竣祐¹、安藤 大輔¹、須藤 祐司¹ (1.東北大工)

キーワード：相変化材料、薄膜

相変化材料とは、光記録ディスクや半導体メモリ中で用いられる、情報記録材料のことを指す。将来的な相変化材料の実用には、より低エネルギーで動作する新材料の開発が望まれる。本研究では、多結晶薄膜において結晶間で相変化する材料として、多形体カルコゲナイドであるMnTeに注目し、その相変化挙動について調査した。