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シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム（technical) » アトミックレイヤープロセスの最新動向

[20p-N304-1~10] アトミックレイヤープロセスの最新動向

2019年9月20日(金) 13:30 〜 17:45 N304 (N304)

関根誠(名大)、百瀬健(東大)、唐橋一浩(阪大)

16:15 〜 16:30

[20p-N304-6] acac吸着表面へのAr-GCIB照射によるNiの原子層エッチング

〇(M1)植松功多¹、豊田紀章¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム、原子層エッチング