[20p-PA7-1~8] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[20p-PA7-1] シリコン電極薄型燃料電池の開発
－Au-Pd-Pt多層触媒に向けた多孔質Siの形成－

〇小船 想士朗¹、高橋 啓太¹、黒瀬 智洋¹、入田 賢¹、早瀬 仁則¹ (1.東京理科大学)

キーワード：MEMS、燃料電池、多孔質シリコン

燃料電池への応用に向け，Si基板の抵抗率および多孔質Si形成時に印加電流密度を変化させることにより，多孔質Siの細孔直径および細孔間隔を大きくしAu-Pd-Pt多層触媒形成に最適な多孔質Si形成を行った．作製した多孔質Siと多孔質Auについて，の構造比較のため走査電子顕微法（SEM）およびエネルギー分散型X線分析装置（EDS）により多孔質構造評価と元素分析を行った結果について