[21a-C310-1~12] 6.4 薄膜新材料

[21a-C310-12] 熱式流量センサのためのニオブ・タングステン・チタンドープ酸化バナジウム積層膜の形成と評価

横倉 真美¹、大塚 尚輝¹、中村 翔太郎¹、西 純平¹、〇氷室 貴大¹、齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：熱式流量センサ、酸化バナジウム、積層膜

熱式流量計に用いられる温度センサの材料として二酸化バナジウム（VO₂）に着目し、高温のある程度広い温度域で、大きな抵抗温度係数（TCR）を維持できる薄膜の形成を試みた。不純物としてニオブ、タングステン、チタンをドープし、スピンコート法を用いて積層膜を形成した際のTCR－温度特性を調べたため、その結果について報告する。